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gsl-1100x-spc12h是一款紧凑型加热等离子薄膜溅射仪，专门设计为基地镀上金属膜，如金，铂，铟和银等。最大可放置样品尺寸直径为40mm，膜厚可达300埃，特别适用于为sem样品镀上金而作为导电极。此款等离子薄膜溅射仪上自带了所必要的配件，可立即使用，包含一个溅射靶材，真空泵，不锈钢波纹管和快速卸装卡箍。

输入电源	208v - 240v, 50/60 hz, < 3000w
样品室	石英腔体尺寸, 100 mm dia. x 130mm h 带有不锈钢法兰
衬底加热器	载样台的尺寸为60 mm,可加热到600度一个30段可编程温度控制器，控温精度±1oc 推荐升温速率:15°c/m 样品台的高度可以调节样品台温控盒后视图
真空配置	每个配件包含在内，可立即使用仪器中配有一台2l/s双旋片机械泵，出气口安装有立式油污过滤器，过滤真空泵工作时产生的油烟，和减少泵油的损耗，保护环境和人体健康。高纯度金箔靶
进气口	有一不锈钢针阀安装在仪器上，可以通入氩气，能实现更好的等离子涂层
靶材	靶材标配靶材包含：4n purity gold foil: 57 mm dia. x 0.12 mm 可选靶材
外形尺寸	l480mmx w320mm x h150mm
净重	20 kg
质保期	一年质保期，终身维护

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合肥科晶gsl-1100x-spc12h加热型等离子薄膜溅射仪

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